【客户案例】某企业半导体制造中半导体冷却器chiller应用案例

半导体冷却器chiller适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统，能够根据实际生产需求自动调节制冷量，确保生产环境始终保持在适合温度范围内。

目前冠亚恒温半导体冷却器chiller按照不同产品类型，包括单通道和双通道，主要有FLTZ变频单通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ变频多通道系列（-45℃~+90℃）、无压缩机系列ETCU换热控温单元（+5℃-+90℃）

冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验，为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。