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FLTZ变频系列

FLTZ变频系列

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,控温范围:-100℃~+90℃;控温精度:±0.05℃。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度(压力)、冷凝温度、冷却水温度(压力)、进出液体(气体)温度(压力)、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。Chiller 100%氦检测,100%安规检测,确保系统安全可靠。chiller 100%经过24小时连续运行拷机。

冷凝器 微通道换热器(风冷)板式换热器(水冷);蒸发器:板式换热器;节流装置:电子膨胀阀;控制系统:PLC可编程控制器

通讯:RS485接口Modbus RTU协议,以太网接口 TCP/IP协议

操作界面:无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示\EXCEL 数据导出

循环系统:整个系统为全密闭系统,低温不吸收空气中水份,不挥发导热介质,低温自动补充导热介质进入循环系统。

外壳材质:冷轧板喷塑RAL7035;管路内部含:不锈钢SUS304、铜、陶瓷、碳化硅、硅酮密封胶、PTFE

FLTZ  5℃~+90℃

型号 FLTZ-002 FLTZ-003 FLTZ-004 FLTZ-006 FLTZ-008 FLTZ-010 FLTZ-015
FLTZ-002W FLTZ-003W FLTZ-004W FLTZ-006W FLTZ-008W FLTZ-010W FLTZ-015W
温度范围 5℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

FLTZ  -25℃~+90℃

型号 FLTZ-202 FLTZ-203 FLTZ-204 FLTZ-206 FLTZ-208 FLTZ-210 FLTZ-215
FLTZ-202W FLTZ-203W FLTZ-204W FLTZ-206W FLTZ-208W FLTZ-210W FLTZ-215W
温度范围  -25℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量 10~25L/min 15~45L/min 25~75L/min
制冷量at-15℃ 2kw 3kw 3.8kw 6kw 7.6kw 10kw 15kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

FLTZ  -45℃~+90℃

型号 FLTZ-402 FLTZ-403 FLTZ-404 FLTZ-406 FLTZ-408 FLTZ-410 FLTZ-415
FLTZ-402W FLTZ-403W FLTZ-404W FLTZ-406W FLTZ-408W FLTZ-410W FLTZ-415W
温度范围  -45℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量 10~25L/min  5bar max 15~45L/min 6bar max 25~75L/min 6bar max
制热 采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kw 1.4kw 1.8kw 2.5kw 3.3kw 5kw 8kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG3/4
冷却水接口 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*500*1500 1080*500*1500

FLTZ  -80℃~+90℃

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃~+90℃
控温精度 ±0.05℃ (出口温度稳态)
流量控制 7~25L/min  5bar max 12~45L/min 6bar max
制冷量at-70℃ 0.6KW 1KW 1.5KW 2KW 3KW
加热功率 2KW 2KW 2KW 3.5KW 3.5KW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水at20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
断路器 25A 25A 32A 40A 50A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 550*700*1750 650*850*1850 700*850*1850 700*850*1850 800*1200*1850

FLTZ  -100℃~+90℃

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度范围  -100℃~+90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量控制 7~25L/min 6bar max 12~45L/min 6ba max
制冷量at-90℃ 1.5KW 3KW
加热功率 3.5KW 5.5KW
内循环液容积 5L 8L
膨胀罐容积 10L 15L
导热介质 氟化液
导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG1
冷却水at20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
断路器 32A 63A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

 

FLTZ  5℃~+90℃

型号 FLTZ-002 FLTZ-003 FLTZ-004 FLTZ-006 FLTZ-008 FLTZ-010 FLTZ-015
FLTZ-002W FLTZ-003W FLTZ-004W FLTZ-006W FLTZ-008W FLTZ-010W FLTZ-015W
温度范围 5℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ  -25℃~+90℃

型号 FLTZ-202 FLTZ-203 FLTZ-204 FLTZ-206 FLTZ-208 FLTZ-210 FLTZ-215
FLTZ-202W FLTZ-203W FLTZ-204W FLTZ-206W FLTZ-208W FLTZ-210W FLTZ-215W
温度范围  -25℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量 10~25L/min 15~45L/min 25~75L/min
制冷量at-15℃ 2kw 3kw 3.8kw 6kw 7.6kw 10kw 15kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*600*1500 1080*600*1500

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ  -45℃~+90℃

型号 FLTZ-402 FLTZ-403 FLTZ-404 FLTZ-406 FLTZ-408 FLTZ-410 FLTZ-415
FLTZ-402W FLTZ-403W FLTZ-404W FLTZ-406W FLTZ-408W FLTZ-410W FLTZ-415W
温度范围  -45℃~90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量 10~25L/min  5bar max 15~45L/min 6bar max 25~75L/min 6bar max
制热 采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kw 1.4kw 1.8kw 2.5kw 3.3kw 5kw 8kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG3/4
冷却水接口 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 950*380*1055 950*380*1055 950*380*1055 980*430*1400 980*430*1400 1080*500*1500 1080*500*1500

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ  -80℃~+90℃

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃~+90℃
控温精度 ±0.05℃ (出口温度稳态)
流量控制 7~25L/min  5bar max 12~45L/min 6bar max
制冷量at-70℃ 0.6KW 1KW 1.5KW 2KW 3KW
加热功率 2KW 2KW 2KW 3.5KW 3.5KW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水at20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
断路器 25A 25A 32A 40A 50A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸 550*700*1750 650*850*1850 700*850*1850 700*850*1850 800*1200*1850

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

FLTZ  -100℃~+90℃

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W
温度范围  -100℃~+90℃
控温精度 ±0.05℃(出口温度稳态)
流量控制 7~25L/min 6bar max 12~45L/min 6ba max
制冷量at-90℃ 1.5KW 3KW
加热功率 3.5KW 5.5KW
内循环液容积 5L 8L
膨胀罐容积 10L 15L
导热介质 氟化液
导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG1
冷却水at20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar
断路器 32A 63A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度

所有设备额定测试条件:⼲球温度:20℃;湿球温度:16℃。进⽔温度:20℃;出⽔温度:25℃。

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