Chiller 换热型 系统无压缩机
元器件高低温测试 半导体chiller
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴
经过24小时连续运行拷机
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
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半导体投入大,制造工序多,为了提高产品的良品率、确保收益,需要在半导体的每个环节进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度,温度的稳定性及精准度非常重要,为获得稳定可靠的产品保驾护航。
冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验,我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务,有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。
型号 | FLTZ-305W | FLTZ-305W/2T 双系统 | |
温度范围 | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ |
控温精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
流量控制 | 15~45L/min ±0.3 | 15~45L/min ±0.3 | 15~45L/min ±0.3 |
泵压力 | 6bar max | 6bar max | 6bar max |
制热 | 2.5kw | 2.5kw | 2.5kw |
制冷量@15℃ | 11kw | 11kw | 11kw |
制冷量@-15℃ | 5kw 约4500rpm | 5kw 约4500rpm | 5kw 约4500rpm |
内循环液容积 | 8L | 8L | 8L |
膨胀罐容积 | 15L | 25L | |
导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | ||
导热介质接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷却水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | |
冷却水 | 30L/min @20℃ | 60L/min @20℃ | |
电源 | 220V 50/60HZ | 220V 50/60HZ | |
断路器 | 40A | 80A | |
尺寸 | 450*700*1600 | 650*850*1600 | |
选配3.5kw电加热,温度可扩展到90℃,电源需要改成380V |