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Chiller 换热型 系统无压缩机

Chiller 换热型 系统无压缩机

半导体温控装置

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓

循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡

氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴

经过24小时连续运行拷机

 

半导体投入大,制造工序多,为了提高产品的良品率、确保收益,需要在半导体的每个环节进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度,温度的稳定性及精准度非常重要,为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验,我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务,有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

 

 

型号 FLTZ-305W FLTZ-305W/2T          双系统
温度范围 -30℃~40℃ -30℃~40℃ -30℃~40℃
控温精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
流量控制 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3
泵压力 6bar max 6bar max 6bar max
制热 2.5kw 2.5kw 2.5kw
制冷量@15℃ 11kw 11kw 11kw
制冷量@-15℃ 5kw   约4500rpm 5kw   约4500rpm 5kw   约4500rpm
内循环液容积 8L 8L 8L
膨胀罐容积 15L 25L
导热介质 氟化液、防冻液、导热硅油等
导热介质接口 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4
冷却水接口 ZG3/4 ZG3/4
冷却水 30L/min @20℃ 60L/min @20℃
电源 220V 50/60HZ 220V 50/60HZ
断路器 40A 80A
尺寸 450*700*1600 650*850*1600
选配3.5kw电加热,温度可扩展到90℃,电源需要改成380V
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