Chiller 双变频
元器件高低温测试 半导体chiller
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴
经过24小时连续运行拷机
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴
经过24小时连续运行拷机
型号 | FLTZ-305W | FLTZ-305W/2T 双系统 | |
温度范围 | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ |
控温精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
流量控制 | 15~45L/min ±0.3 | 15~45L/min ±0.3 | 15~45L/min ±0.3 |
泵压力 | 6bar max | 6bar max | 6bar max |
制热 | 2.5kw | 2.5kw | 2.5kw |
制冷量at15℃ | 11kw | 11kw | 11kw |
制冷量at-15℃ | 5kw 约4500rpm | 5kw 约4500rpm | 5kw 约4500rpm |
内循环液容积 | 8L | 8L | 8L |
膨胀罐容积 | 15L | 25L | |
导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | ||
导热介质接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
冷却水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | |
冷却水 | 30L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | |
电源 | 220V 50/60HZ | 220V 50/60HZ | |
断路器 | 40A | 80A | |
尺寸 | 450*700*1600 | 650*850*1600 | |
温度扩展 | 选配3.5kw电加热,温度可扩展到90℃,电源需要改成380V |