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半导体 chiller 常规型

半导体 chiller 常规型

半导体温控装置

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓

循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡

氨检测,安规检测,确保系统安全可靠兴

经过24小时连续运行拷机

 

半导体投入大,制造工序多,为了提高产品的良品率、确保收益,需要在半导体的每个环节进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度,温度的稳定性及精准度非常重要,为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验,我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务,有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

 

 

型号 FLT-002 FLT-003 FLT-004 FLT-006 FLT-008 FLT-010 FLT-015
FLT-002W FLT-003W FLT-004W FLT-006W FLT-008W FLT-010W FLT-015W
温度范围 5℃~40℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制 10~25L/min  5bar max 15~45L/min  6bar max 25~75L/min  6bar max
制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R410A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  (DI温度需要控制10℃以上)
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
电源380V 3.5kW 4kW 5.5kW 7kW 9.5kW 12kW 16kW
温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃

 

型号 FLT-202 FLT-203 FLT-204 FLT-206 FLT-208 FLT-210 FLT-215
FLT-202W FLT-203W FLT-204W FLT-206W FLT-208W FLT-210W FLT-215W
温度范围 -25℃~40℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制 10~25L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 25~75L/min ±0.3
流量控制采用变频器调节,循环泵最大压力5bar
制冷量at-15℃ 2kw 3kw 3.8kw 6kw 7.6kw 10kw 15kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
冷却水接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
电源380V 3KW 4KW 6KW 8KW 9KW 13KW 17KW
温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃

 

型号 FLT-402 FLT-403 FLT-404 FLT-406 FLT-408 FLT-410 FLT-415
FLT-402W FLT-403W FLT-404W FLT-406W FLT-408W FLT-410W FLT-415W
温度范围 -45℃~40℃
控温精度 ±0.1℃
流量控制 10~25L/min  5bar max 15~45L/min 6bar max 25~75L/min 6bar max
制热 采用压缩机制热,防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃ 1kw 1.4kw 1.8kw 2.5kw 3.3kw 5kw 8kw
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
制冷剂 R404A
载冷剂 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG3/4
冷却水接口 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
冷却水流量at20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
电源380V 3KW 4KW 6KW 7.5KW 9KW 12KW 15KW
温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃
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