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Chiller低温复叠制冷系列
元器件高低温测试 半导体chiller
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半导体温控装置
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓
循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵淡
氨检测，安规检测，确保系统安全可靠兴
经过24小时连续运行拷机
| 型号 | FLT-803W | FLT-805W | FLT-806W | FLT-808W | FLT-810W |
| 温度范围 | -80℃～+80℃ | ||||
| 控温精度 | ±0.1℃ | ||||
| 流量控制 | 7～25L/min | 12～45L/min | |||
| 流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵最大压力6bar | |||||
| 制冷量at-70℃ | 0.6KW | 1KW | 1.5KW | 2KW | 3KW |
| 加热功率 | 2KW | 2KW | 2KW | 3.5KW | 3.5KW |
| 内循环液容积 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 导热介质 | 氟化液 | ||||
| 进出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷却水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷却水at20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| 电源 | 380V 50HZ | ||||
| 断路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 型号 | FLT-1002W | FLT-1004W |
| 温度范围 | -100℃～+80℃ | -100℃～+80℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 流量控制 | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵最大压力6bar | ||
| 制冷量at-90℃ | 1.5KW | 3KW |
| 加热功率 | 3.5KW | 5.5KW |
| 内循环液容积 | 5L | 8L |
| 膨胀罐容积 | 10L | 15L |
| 导热介质 | 氟化液 | |
| 导热介质接口 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷却水接口 | ZG3/4 | ZG1 |
| 冷却水at20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 电源 | 380V 50HZ | 380V 50HZ |
| 断路器 | 32A | 63A |
| 尺寸 | 700*800*1850 | 800*1200*1850 |
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