Chiller 直冷型

半导体行业广泛应用
适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程，对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温

型号	ZLJ-41.0 ZLJ-41.0W	ZLJ-41.5 ZLJ-41.5W	ZLJ-42 ZLJ-42W	ZLJ-43 ZLJ-43W	ZLJ-44 ZLJ-44W	ZLJ-46 ZLJ-46W	ZLJ-48 ZLJ-48W
温度范围	-40℃～-15℃
控温精度	±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷@-35℃	0.5kw	0.7kw	1kw	1.6kw	2.1kw	3.2kw	4kw
制冷剂	R404A 可选配R507C R448
高温降温	具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源	220V 50HZ			380V 50HZ 可定制220V
断路器	6A	6A	10A	6A	10A	16A	16A

型号	ZLJ-81.0 ZLJ-81.0W	ZLJ-81.5 ZLJ-81.5W	ZLJ-82 ZLJ-82W	ZLJ-83 ZLJ-83W	ZLJ-84 ZLJ-84W	ZLJ-86 ZLJ-86W	ZLJ-88 ZLJ-88W
温度范围	-80℃～-50℃
控温精度	±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷@-70℃	0.37kw	0.5kw	0.75kw	1.1kw	1.5kw	2.6kw	3.1kw
制冷剂	R404A/R508B
高温降温	具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源	220V 50HZ			380V 50HZ 可定制220V
断路器	10A	16A	25A	16A	16A	25A	32A